和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。
ROHS金属成分分析仪系统简介：最新开发设计的分光系统，不需移动衍射光栅或检测器（CCD）就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高，还可以采集状态分析分佈图
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SXES、WDS、EDS的比较各种分光方法中氮化钛样品的谱图
即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠，需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示，SXES具有很高的能量分辨率。
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比较表
特征SXESEPMA(WDS)EDS
分辨率0.3 eV
(费米边处 Al-L)8 eV (FWHM@Fe-K）120-130 eV
(FWHM@Mn-K）
化学结合状态分析可以可以(主要是轻元素)不可以
并行检测可以不可以
(但分光谱仪台数范围即可)可以
分光晶体和检测器衍射光栅＋CCD分光晶体＋正比计数管SDD
检测器冷却珀尔帖冷却不需要珀尔帖冷却
检测限(以B作為參考值)20ppm100ppm5000ppm
锂离子二次电池（LIB）分析实例
能观察到LIB的充电量
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充满电后Li-K样品的谱图
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说明:由于理论上的原因，氧化锂的检测很困难
轻元素的测试实例
SXES测试碳素化合物的实例
可以测试金刚石、石墨、聚合物的不同。
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各种氮素化合物的测试实例氮素也可以根据波形分析化学结合状态。硝酸盐和氮化物的波形不同，还能观察到易受电子束损伤的铵盐的波形。
ROHS金属成分分析仪http://www.sypht.cn/Products-38126885.html
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