一、AMC空气分子污染物ppb级VOC监测系统介绍：  

无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。  

uVOC-CAM提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案，不需要采样，离线测量。  

关键词：AMC监测，AMC在线监测，AMC在线检测，空气分子污染物监测，半导体洁净室气体分析仪  

二、阿瑞斯-µVOCppb级VOC监测系统产品优势：  

检测限达到sub-ppb级  

洁净室环境中的空气分子污染物AMC，内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等，外部来自环境空气中存在的气相污染物，以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。  

一旦AMC空气分子污染物超标会引起一系列严重后果，比如晶圆废弃、停产、重新净化洁净室等。  

空气分子污染物问题:从洁净间到生产机台加工  

随着IC产品生产成本的增加，空气分子污染物AMC的监测变得越来越重要。

https://www.chem17.com/st307321/product_35489430.html 

http://www.bjdktech.com/SonList-2101588.html