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MKS 1479A质量流量控制器
2024-07-27 00:15  浏览:39
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MKS 1479A质量流量控制器(金属密封)

1479A是一种坚固的金属密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制有腐蚀性气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。

对于当今市场上的质量流量控制器,1479A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使1479能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%。

技术参数:

全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。

控制量程:2%to的全量程。

测量精度:全量程的1%

灵敏度:全量程的0.1%

热机时间:小于2Min.

响应速度:小于2Sec.

输入电压:±15VDC@100ma

输出电压:0-5VDC

连接器:模拟:9Pin或15Pin或20PinCardedge.

数字:RS485或Devicenet或Profibus

法兰接口:Swagelok4VCR,Swagelok4VCO,Swage1/4”等

材质:316不锈钢。

MKS 1479A质量流量控制器订购资料

例:型号14790A00411CR1A6MXX

订购序列号

1479A质量流量控制器

1479A

校准气体

 

氦气He

001

氩气Ar

004

氢气H2

007

氮气N2

013

氧气O2

015

其他气体

可选

校准流量Sccm

 

10

11C

20

21C

50

51C

100

12C

200

22C

500

52C

1000

13C

2000

23C

5000

53C

10000

14C

20000

24C

装配件

 

4 VCR凸接头

R

4 VCO管道

G

0.25英寸管道

S

C-密封

C

W-密封

H

阀门

 

常闭

1

连接器

 

9针D型

A

15针D型

B

20针边缘卡接口

C

密封

 

金属

M

固化软件版本

 

MKS会安装订购时软件版本

XX

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